Surface Nano Profiler SNP9000 door Surface / Interface geïnstalleerd bij Infineon Mask House

Voor diepte- en CD-metingen werd een Surface Nano Profiler SNP9000 van Surface / Interface geïnstalleerd in het Infineon Mask House. Het gereedschap maakt gebruik van een gekalibreerde AFM-punt om precisiemetingen uit te voeren op chroom op glas, halfschaduw en afwisselend faseverschuivingsmaskers.